En el exigente mundo de la fabricación de semiconductores, donde la pureza y la precisión no son negociables, cada componente importa, especialmente soluciones de sellado . Aquí es donde Perfluoroelastómeros (FFKM) Destacar como el campeón indiscutible.

La fabricación de semiconductores implica condiciones extremas: entornos de plasma agresivos, altas temperaturas (que a menudo superan los 300 °C) y exposición a productos químicos y reactivos de ataque potentes. Los elastómeros estándar, como el FKM (Viton®) o la silicona, pueden degradarse, lo que provoca la generación de partículas, la contaminación de las herramientas y costosos tiempos de inactividad no planificados.

FFKM ofrece un conjunto único de propiedades que abordan directamente estos desafíos:

Resistencia química excepcional: Su estructura totalmente fluorada proporciona una resistencia casi universal a productos químicos de proceso agresivos, plasma y agentes de limpieza agresivos como O₃, HF y soluciones SC-1/SC-2.

Pureza ultraalta: Los componentes FFKM exhiben niveles extremadamente bajos de metales extraíbles e impurezas iónicas, lo que evita la contaminación que puede arruinar las obleas sensibles.

Estabilidad térmica superior: Mantiene la elasticidad y la fuerza de sellado a altas temperaturas continuas donde otros elastómeros se endurecerían y fallarían.

Excelente resistencia al plasma: Fundamental para las cámaras de grabado y deposición, el FFKM resiste la erosión y la "formación de polvo" causadas por la exposición directa al plasma, minimizando la generación de partículas.

Aplicaciones clave en la fábrica:

CMP (Planarización Químico-Mecánica): Sellos y diafragmas para manejo de lodos abrasivos.

Cámaras de grabado y CVD (deposición química de vapor): Juntas tóricas, empaquetaduras y sellos críticos en módulos de proceso de obleas.

Manipulación de obleas: Sella robots, cerraduras de carga y módulos de transferencia.

Procesamiento húmedo: Sellos para baños y líneas que transportan ácidos y disolventes ultrapuros.

Si bien el FFKM representa una mayor inversión inicial, su valor es evidente: maximiza el tiempo de funcionamiento de las herramientas, protege el rendimiento y garantiza la integridad del proceso. En una industria impulsada por nodos cada vez más pequeños y controles de contaminación más estrictos, el FFKM no es solo un material, sino un elemento esencial para la fabricación avanzada de semiconductores.