El caucho de perfluoroéter (FFKM) es un material de sellado de alto rendimiento, cuyo excelente rendimiento ha llevado a su aplicación en todo el sistema de fabricación de productos semiconductores. El sello FFKM es uno de los principales consumibles necesarios para la producción de circuitos integrados.

Principales características de rendimiento de FFKM:

1) Propiedades físicas

El FFKM tiene una densidad de 1,9-2,0 g/cm³. Sus propiedades físicas y mecánicas son similares a las del caucho fluorado y su resistencia a la compresión a alta temperatura es superior a la del caucho fluorado.

2) Resistencia química

Al igual que el PTFE, el FFKM no se ve afectado por ningún medio, excepto por ciertos solventes con alto contenido de fluorocarbono, y es resistente a más de 1600 solventes químicos como ácidos fuertes, bases fuertes, solventes orgánicos, vapor a temperatura ultra alta, éteres, cetonas, ésteres, nitrógeno. compuestos, carburos de hidrógeno, alcoholes, aldehídos, furanos y compuestos de amina.

3) Es resistente a altas y bajas temperaturas, y su temperatura de operación es generalmente de 260~290 ℃. Puede usarse intermitentemente para altas temperaturas de 316 ℃.

4) resistencia al vapor de alta temperatura

5) Baja liberación y precipitación

6) Resistencia al plasma, que exhibe características de alta limpieza y baja precipitación en un entorno de plasma, y ​​puede resistir el impacto del plasma durante mucho tiempo.

Aplicaciones de semiconductores de FFKM

En la fabricación de semiconductores, la confiabilidad de las juntas elastoméricas es crucial y el costo de reemplazar las juntas cuando se interrumpe la producción es extremadamente alto. Para evitar riesgos potenciales, los requisitos de limpieza y pureza de los sellos son muy estrictos. Al mismo tiempo, los sellos deben poder trabajar bajo la presión de alto vacío y gases químicos corrosivos y en ambientes de alta temperatura durante mucho tiempo.

El FFKM es una materia prima costosa y, a menudo, se usa para requisitos de sellado exigentes que otros cauchos no pueden cumplir, como la fabricación de semiconductores. FFKM es resistente a la corrosión por plasma, la corrosión por gas, la corrosión ácida y alcalina, la corrosión a alta temperatura y los altos requisitos de limpieza para los sellos de goma , lo que ayuda a mantener la integridad del sello, reduce los tiempos de mantenimiento y mejora la seguridad. Es el mejor material de sellado para la fabricación de semiconductores.