A medida que la fabricación de semiconductores avanza hacia procesos más sofisticados, los entornos operativos se han vuelto extremadamente exigentes: altas temperaturas, plasmas agresivos, gases químicos corrosivos y estrictos requisitos de pureza plantean desafíos casi crueles para los materiales de sellado. JST ha lanzado la serie Kalfluo® de Soluciones de sellado de perfluoroelastómero (FFKM) , dedicada a cumplir con los estándares de alto rendimiento y alta confiabilidad exclusivos de las principales marcas internacionales.

¿Por qué FFKM es la elección inevitable para... Sellado de semiconductores ?

El FFKM representa el nivel de rendimiento más alto en materiales elastómeros. Su estructura molecular totalmente fluorada le otorga propiedades inigualables:

• Resistencia química excepcional: Resiste casi todos los medios químicos, incluidos ácidos fuertes, álcalis, solventes y diversas sustancias polares, y funciona excepcionalmente bien en procesos de limpieza y grabado húmedo.
• Excelente resistencia a altas temperaturas: Nuestra serie Kalfluo® funciona eficazmente desde -10 °C hasta 300 °C. Por ejemplo, nuestro Grado 8520 mantiene el rendimiento de sellado incluso en entornos de temperatura ultraalta, como LPCVD y hornos epitaxiales.
• Baja desgasificación y emisiones: minimiza las emisiones volátiles en condiciones de vacío a alta temperatura, lo que evita la contaminación de la cámara de proceso y protege la pureza de la deposición de película delgada y el manejo de obleas.
• Resistencia superior a la erosión del plasma: resiste eficazmente el bombardeo de plasma en procesos como el grabado en seco y el PECVD, lo que reduce problemas de superficie como la formación de polvo, el seguimiento y el agrietamiento para una vida útil más prolongada.
• Baja deformación por compresión: mantiene una excelente elasticidad y recuperación incluso bajo calor y presión prolongados, lo que garantiza un sellado duradero y estable.

Sellos JST proporciona no solo estándar Sellos FFKM sino también soporte integral, desde la selección de materiales, el diseño estructural y la simulación FEA hasta la producción en salas blancas de clase 10000. Garantizamos que cada producto cumple con las exigentes exigencias de la industria de semiconductores en cuanto a fiabilidad y limpieza.