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Material JST FFKM - KALFLUO 8520
JST KALFLUO 8520 es un tipo de material FFKM que está especialmente curado para aplicaciones de muy alto rendimiento, con alta pureza, buena resistencia química y propiedades de estabilidad al calor. Se utiliza principalmente para aplicaciones de fabricación de semiconductores , que es un material de sellado ideal para la mayoría de los procesos de semiconductores secos ( grabado por plasma , PECVD, LPCVD, CVD de metal, PVD, ALD, limpieza de plasma) y húmedos (limpieza de obleas, eliminación de polímeros, grabado húmedo, pulido).
Es adecuado para aplicaciones a temperaturas que oscilan entre –10°C y 300°C.
Propiedades físicas de KALFLUO 8520:
Propiedades de resistencia a fluidos de KALFLUO 8520:
Detección de elementos metálicos (inmersión en disolvente) de Kalfluo 8520:
Detección de precipitación de elementos metálicos en agua UPDI de 18 M Ω a 80 ℃ durante 720 horas, partes por mil millones (ppb, ug/L) ICP-MS-MS)
Resultado de la prueba:
Observaciones: 1- Valor límite de detección: 1ppb; 2- ND=No detectado.
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