JST KALFLUO 8520 es un tipo de material FFKM que está especialmente curado para aplicaciones de muy alto rendimiento, con alta pureza, buena resistencia química y propiedades de estabilidad al calor. Se utiliza principalmente para aplicaciones de fabricación de semiconductores , que es un material de sellado ideal para la mayoría de los procesos de semiconductores secos ( grabado por plasma , PECVD, LPCVD, CVD de metal, PVD, ALD, limpieza de plasma) y húmedos (limpieza de obleas, eliminación de polímeros, grabado húmedo, pulido).

Es adecuado para aplicaciones a temperaturas que oscilan entre –10°C y 300°C.

Propiedades físicas de KALFLUO 8520:

Propiedades de resistencia a fluidos de KALFLUO 8520:

Detección de elementos metálicos (inmersión en disolvente) de Kalfluo 8520:

Detección de precipitación de elementos metálicos en agua UPDI de 18 M Ω a 80 ℃ durante 720 horas, partes por mil millones (ppb, ug/L) ICP-MS-MS)

Resultado de la prueba:

Observaciones: 1- Valor límite de detección: 1ppb; 2- ND=No detectado.